॥ ఓం నమః శివాయ ॥
॥ అథ మహాన్యాస ప్రయోగః ॥
॥ ఓం నమో భగవతే రుద్రాయ ॥

॥ ఓం అథాతః పఞ్చాఙ్గరుద్రాణామ్ ॥

॥ ఓం భూర్భువ॒స్సువః॑ ॥

ఓం నం నమ॑ స్తే రుద్ర మ॒న్యవ॑ ఉ॒తో త॒ ఇష॑ వే నమః॑ ।
నమ॑ స్తే అస్తు॒ ధన్వ॑ నే బా॒హుభ్యా॑ ము॒త తే॒ నమః॑।
ఓం కం ఖం గం ఘం ఙం ।
ఓం నమో భగవతే రుద్రాయ। నం ఓం పూర్వాఙ్గ-రుద్రాయ నమః॥

మహాదేవం మహాత్మానం మహాపాతకనాశనమ్।
మహాపాపహరం వన్దే మకారాయ నమో నమః॥

॥ ఓం భూర్భువ॒స్సువః॑ ॥

ఓం మం నిధనపతయే నమః। నిధనపతాన్తికాయ నమః।
ఊర్ధ్వాయ॒ నమః। ఊర్ధ్వలిఙ్గాయ॒ నమః।

హిరణ్యయ॒ నమః।హిరణ్యలిఙ్గాయ॒ నమః।
సువర్ణాయ॒ నమః। సువర్ణలిఙ్గాయ॒ నమః।

దివ్యాయ॒ నమః। దివ్యలిఙ్గాయ॒ నమః।
భవాయ॒ నమః। భవలిఙ్గాయ॒ నమః।

శర్వాయ॒ నమః। శర్వలిఙ్గాయ॒ నమః।
శివాయ॒ నమః। శివలిఙ్గాయ॒ నమః।

జ్వలాయ॒ నమః। జ్వలలిఙ్గాయ॒ నమః।
ఆత్మాయ॒ నమః। ఆత్మలిఙ్గాయ॒ నమః।
పరమాయ॒ నమః। పరమలిఙ్గాయ॒ నమః।

ఎతత్సోమస్య॑ సూర్య॒స్య॒ సర్వలిఙ్గగ్గ్॑ స్థాప॒య॒తి॒ పాణిమన్త్రం॑ పవి॒త్రమ్।

ఓం చం ఛం జం ఝం ఞం । ఓం నమో భగవతే॑ రుద్రా॒య।
మం ఓం దక్షిణాఙ్గరుద్రాయ నమః॥

శివం శాన్తం జగన్నాథం లోకానుగ్రహకారణమ్।శివమేకం పరం వన్దే శికారాయ నమో నమః॥
ఓం భూర్భువ॒స్సువః॑ ॥

ఓం శిం అపై॑ తు మృ॒త్యుర॒మృతం॑ న॒ ఆగ॑ న్వైవస్వ॒తో నో॒ అభ॑ యం కృణోతు।

పర్ణం వన॒స్పతే॑ -రివా॒భినశ్శీయతాగ్ం ర॒యిః సచతాం నః॒ శచీ॒పతిః॑ ॥

ఓం టం ఠం డం ఢం ణం । ఓం నమో భగవతే రుద్రాయ। శిం ఓం పశ్చిమాఙ్గరుద్రాయ నమః॥

వాహనం వృషభో యస్య వాసుకిః కణ్ఠభూషణమ్। వామే శక్తిధరం వన్దే వకారాయ నమో నమః॥
ఓం భూర్భువ॒స్సువః॑ ॥

ఓం వాం ప్రాణానాం గ్రన్థిరసి రుద్రో మా॑ విశా॒న్తకః। తేనాన్నేనా ̎ప్యాయ॒స్వ॥

ఓం తం థం దం ధం నం । ఓం నమో భగవతే రుద్రాయ।
వాం ఓం ఉత్తరాఙ్గరుద్రాయ నమః॥

యత్ర కుత్ర స్థితం దేవం సర్వవ్యాపినమీశ్వరమ్। యల్లిఙ్గం పూజయేన్నిత్యం యకారాయ నమో నమః॥
ఓం భూర్భువ॒స్సువః॑ ॥

ఓం యం యో రు॒ద్రో అ॒గ్నౌ యో అ॒ప్సుయ ఓష॑ ధీషు॒ యో రు॒ద్రో విశ్వా॒ భువ॑ నాఽఽవి॒వేశ॒ తస్మై॑ రు॒ద్రాయ॒ నమో॑ అస్తు।

ఓం పం ఫం బం భం మం। ఓం నమో భగవతే రుద్రాయ ।
యం ఓం ఊర్ధ్వాఙ్గరుద్రాయ నమః॥